Litografía con sonda de barrido (SPL) realizada en aire con electrones de baja energía (40-60 V polarización negativa con respecto a la muestra), emitidos desde una punta recubierta de titanio.
https://creativecommons.org/licenses/by-sa/3.0CC BY-SA 3.0 Creative Commons Atribución-Compartir Igual 3.0 ciertocierto
