Carl Zeiss SMT GmbH comprende el grupo empresarial de tecnología de fabricación de semiconductores de ZEISS y desarrolla y produce equipos para la fabricación de microchips . La empresa es propiedad mayoritaria de Carl Zeiss AG, con una participación minoritaria del 24,9% de ASML Holding . [2]
La sede del grupo está ubicada en Oberkochen , Alemania, con sitios adicionales en las ciudades alemanas de Jena , Wetzlar , Rossdorf y en Karmiel , Israel. A partir de septiembre de 2013, la fuerza laboral total en los cinco sitios es de aproximadamente 2900. [3] Alrededor del 30 por ciento de todos los empleados trabajan en el área de Investigación y Desarrollo . [3]
En 1968, ZEISS suministró por primera vez la óptica para una impresora de circuitos. [4] Unos nueve años más tarde, el primer predecesor del mundo de un motor paso a paso de obleas moderno , producido por David Mann (más tarde GCA), estaba equipado con óptica de Carl Zeiss. [5] En 1983, la primera óptica de litografía de ZEISS se utiliza en un paso a paso de obleas de Philips . Poco menos de diez años después, ZEISS y la empresa de escisión de Philips , ASML , establecieron una asociación estratégica. [6]ZEISS estableció el grupo empresarial de tecnología de fabricación de semiconductores en 1994. Carl Zeiss SMT GmbH y sus filiales Carl Zeiss Laser Optics GmbH y Carl Zeiss SMS GmbH siguieron en 2001. La construcción de la planta de tecnología de fabricación de semiconductores de ZEISS en Oberkochen comenzó el mismo año. , y se completó en 2006. [7] En 2010, el área de semiconductores logró ingresos de más de mil millones de euros por primera vez. [8] A partir de octubre de 2014, las subsidiarias Carl Zeiss Laser Optics y Carl Zeiss SMS GmbH se fusionaron en Carl Zeiss SMT GmbH.
El grupo empresarial ZEISS desarrolla y produce óptica para la producción de semiconductores. Su negocio principal es la óptica de litografía que forma la pieza central de un escáner de obleas. El desarrollo y la fabricación de la óptica de proyección y el desarrollo de los sistemas de iluminación tienen lugar en el sitio de Oberkochen , mientras que la producción de la mayoría de los tipos de sistemas de iluminación se encuentra en Wetzlar . Además de la óptica litográfica, el grupo empresarial está especializado en otros numerosos productos ópticos, incluidos los componentes ópticos para láseres que se utilizan como fuentes de luz para los sistemas litográficos .
Esta área desarrolla y fabrica sistemas que analizan y reparan defectos en fotomáscaras y miden y optimizan propiedades de máscara definidas. La fotomáscara contiene toda la información de la estructura que se reflejará en la oblea con luz.