La verificación física es un proceso mediante el cual un diseño de disposición de circuito integrado ( disposición de IC) se verifica a través de herramientas de software EDA para garantizar la funcionalidad eléctrica y lógica y la capacidad de fabricación correctas. La verificación implica verificación de reglas de diseño (DRC), diseño versus esquema (LVS), XOR (OR exclusivo), verificaciones de antena y verificación de reglas eléctricas (ERC). [1]
DRC verifica que el diseño cumpla con todas las limitaciones impuestas por la tecnología. DRC también verifica la densidad de la capa para el pulido químico-mecánico (CMP). [1]
LVS verifica la funcionalidad del diseño. A partir del diseño, se deriva una lista de conexiones y se compara con la lista de conexiones original producida a partir de la síntesis lógica o el diseño de circuitos. [1]
Esta verificación generalmente se ejecuta después de un giro metálico, donde se comparan la base de datos original y modificada. Esto se hace para confirmar que se han realizado las modificaciones deseadas y que no se han realizado modificaciones no deseadas por accidente. Este paso implica comparar las dos bases de datos de diseño / GDS mediante la operación XOR de las geometrías de diseño. Esta verificación da como resultado una base de datos que tiene todas las geometrías que no coinciden en ambos diseños.
La antena es básicamente una interconexión de metal, es decir, un conductor como polisilicio o metal, que no está conectado eléctricamente al silicio ni conectado a tierra, durante los pasos de procesamiento de la oblea. [1] Durante el proceso de fabricación, la acumulación de carga puede ocurrir en la antena durante ciertos pasos de fabricación como el grabado con plasma, que utiliza materia altamente ionizada para grabar. Si la conexión al silicio no existe, pueden acumularse cargas en la interconexión hasta el punto en el que se produce una descarga rápida y se produce un daño físico permanente en el óxido delgado de la puerta del transistor. Este fenómeno rápido y destructivo se conoce como efecto antena.. Los errores de antena se pueden curar agregando un pequeño diodo de antena para descargar de manera segura el nodo o dividiendo la antena enrutando hacia otra capa de metal y luego hacia abajo nuevamente. [1]
La relación de la antena se define como la relación entre el área física de los conductores que componen la antena y el área total de óxido de la puerta a la que está conectada eléctricamente la antena.