La activación electrostática-neumática es un método de actuación para dar forma a membranas delgadas para sistemas microelectromecánicos y microoptoelectromecánicos . [1] [2] Este método se beneficia de la operación a alta velocidad y bajo consumo de energía. [3] También puede causar una gran deflexión en membranas delgadas. Los dispositivos MEMS electrostáticos-neumáticos generalmente consisten en dos membranas con una cavidad sellada en el medio. Un actuador de llamada de membrana se desvía hacia la cavidad por presión electrostática para comprimir el aire y aumentar la presión del aire. La presión elevada empuja la otra membrana y causa la forma de cúpula. Con actuación electrostática directa sobre la membrana, se consigue una forma cóncava.
Este método se utiliza en espejos deformables MEMS [4] [5] [6] [7] [8] para crear espejos convexos y cóncavos. [9] El accionamiento electrostático-neumático puede duplicar el desplazamiento máximo de una membrana delgada en comparación con una membrana accionada solo electrostático. [10]
Además, la ventaja mecánica [11] es posible mediante el uso de accionamiento electrostático-neumático. Dado que la cavidad está llena de aire, la amplificación mecánica es menor que la maquinaria hidráulica con un fluido no comprimible.