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FOUP es un acrónimo de F Ront O PERTURA U nified P od [1] o F ront O PERTURA U NIVERSAL P od. [2]
Es un recinto de plástico especializado diseñado para contener obleas de silicio de forma segura y segura en un entorno controlado, y para permitir que las obleas se transfieran entre máquinas para su procesamiento o medición. [3] Los FOUP comenzaron a aparecer junto con las primeras herramientas de procesamiento de obleas de 300 mm a mediados de la década de 1990. El tamaño de las obleas y su relativa falta de rigidez significó que SMIFno era una tecnología viable. Los FOUP se diseñaron teniendo en cuenta las limitaciones de 300 mm, y el casete extraíble se reemplazó por aletas en el FOUP que mantienen las obleas en su lugar, y la puerta de apertura inferior se reemplazó por una puerta de apertura frontal para permitir que los mecanismos de manipulación del robot accedan a las obleas. directamente desde la FOUP. El peso de un FOUP de 25 obleas completamente cargado en alrededor de 9 kilogramos significa que los sistemas automatizados de manejo de materiales son esenciales para todas las plantas de fabricación, excepto para las más pequeñas. [ cita requerida ] Para permitir esto, cada FOUP tiene varias placas de acoplamiento, pasadores y orificios para permitir que el FOUP se ubique en un puerto de carga y sea manipulado por el AMHS ( Sistema Automatizado de Manejo de Materiales ). Los FOUP también pueden contener RFetiquetas que permiten que los lectores los identifiquen en las herramientas, en el AMHS, etc. [ cita requerida ] Los FOUP están disponibles en varios colores, según el deseo del cliente. Los equipos de fabricación de circuitos integrados y FOUP pueden tener una atmósfera de nitrógeno, en un esfuerzo por aumentar el rendimiento del dispositivo . [4] [5]
FOSB [ editar ]
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FOSB es un acrónimo de F ront O PERTURA S hipping B buey, se utiliza para la transferencia de obleas entre las instalaciones de fabricación. [1]
Fabricantes [ editar ]
Ver también [ editar ]
Referencias [ editar ]
- ^ a b Yoshio Nishi; Robert Doering (9 de julio de 2007). Manual de tecnología de fabricación de semiconductores, segunda edición . Prensa CRC. págs. 33–. ISBN 978-1-4200-1766-3.
- ^ Mikhail Baklanov; Paul S. Ho; Ehrenfried Zschech (17 de febrero de 2012). Interconexiones avanzadas para tecnología ULSI . John Wiley e hijos. págs. 291–. ISBN 978-1-119-96686-9.
- ^ Lars Mönch; John W. Fowler; Scott Mason (12 de septiembre de 2012). Planificación y control de producción para instalaciones de fabricación de obleas semiconductoras: modelado, análisis y sistemas . Springer Science & Business Media. págs. 144–. ISBN 978-1-4614-4471-8.
- ^ "Sistema de purga FOUP - Fabmatics GmbH: automatización de manipulación de materiales para la industria de semiconductores" . www.fabmatics.com .
- ^ "Nuevos modelos de puerto de carga FOUP de purga de nitrógeno TDK lanzados" . www.businesswire.com . 3 de julio de 2013.
