La variación de enfoque es un método que se utiliza para mejorar la nitidez de las imágenes y medir las irregularidades de la superficie mediante ópticas con una profundidad de campo limitada . [1]
Algoritmo
El algoritmo funciona de la siguiente manera:
- al principio se capturan imágenes con enfoque diferente. Esto se hace moviendo la muestra o la óptica entre sí.
- luego, para cada posición, se calcula el enfoque sobre cada plano
- el plano con el mejor enfoque se utiliza para obtener una imagen nítida. la profundidad correspondiente da la profundidad en esta posición-
Óptica
La variación del enfoque requiere una óptica con muy poca profundidad de campo . Esto se puede realizar si se utiliza una microscopía como óptica y un objetivo de microscopio. Estos objetivos tienen una apertura numérica alta que proporciona una pequeña profundidad de campo.
Uso
El uso de este método es para metrología óptica de superficies y máquinas de medición de coordenadas . Esto significa medir la forma, la ondulación y la rugosidad de las muestras. [2] Con componentes de hardware y software optimizados, se puede alcanzar una resolución lateral de 500 nm (limitación de la longitud de onda de la luz) y una resolución vertical de varios nm.
Ventajas y desventajas
Ventajas:
- se puede utilizar en muestras con flancos pronunciados. Esto se debe a que se puede utilizar un anillo de luz para ampliar la apertura de iluminación.
- puede entregar información de color
- puede medir en superficies rugosas
Desventajas:
- No se puede utilizar si la superficie de la muestra no da estructura en la imagen. Esto significa que no se puede usar para obleas y vidrio.
Estandarización
El comité de ISO está trabajando en una nueva serie de normas ISO que se denomina serie ISO 25178 . El documento de la parte 6 describe los métodos disponibles para medir la rugosidad . La variación de enfoque es uno de los métodos descritos.
Ver también
Referencias
- ^ Alicona. "Variación de enfoque: una tecnología robusta para la metrología de superficie 3D óptica de alta resolución" (PDF) . Consultado el 28 de septiembre de 2017 . CS1 maint: parámetro desalentado ( enlace )
- ^ Burmúdez, Carlos. "Variación del foco de iluminación activa" . Consultado el 22 de octubre de 2020 . CS1 maint: parámetro desalentado ( enlace )