Una máscara dura es un material que se utiliza en el procesamiento de semiconductores como una máscara de grabado en lugar de un polímero u otro material resistente orgánico "blando" . La idea es que los polímeros tienden a ser atacados fácilmente por oxígeno , flúor , cloro u otros gases reactivos en la medida en que un patrón definido usando una máscara polimérica se degrada rápidamente durante el ataque con plasma .