Técnica de Niemeyer-Dolan
La técnica de Niemeyer-Dolan , también llamada técnica de Dolan o técnica de evaporación de sombras , es un método litográfico de película delgada para crear estructuras superpuestas de tamaño nanométrico .
Esta técnica utiliza una máscara de evaporación que se suspende sobre el sustrato (ver figura). La máscara de evaporación se puede formar a partir de dos capas de resist . Dependiendo del ángulo de evaporación, la imagen de sombra de la máscara se proyecta en diferentes posiciones del sustrato. Al elegir cuidadosamente el ángulo para cada material a depositar, las aberturas adyacentes en la máscara se pueden proyectar en el mismo lugar, creando una superposición de dos películas delgadas con una geometría bien definida. [1] [2] [3]
La técnica de Niemeyer-Dolan se utiliza para crear nanoestructuras electrónicas de película delgada , como puntos cuánticos y uniones de túneles .
