La ventana de proceso es un gráfico con un rango de parámetros para un proceso de fabricación específico que produce un resultado definido. Por lo general, varios parámetros se trazan en un gráfico de este tipo con una región central donde el proceso se comporta bien, mientras que los bordes exteriores definen regiones donde el proceso se vuelve inestable o arroja un resultado desfavorable. Además, se realiza una evaluación estadística del rendimiento del proceso mediante el cálculo del índice de ventana de proceso asociado .
Las aplicaciones típicas se encuentran en la fotolitografía [1], donde la respuesta de una fotoprotección a parámetros como la temperatura, la intensidad de la radiación, la dimensión crítica y el ángulo de la pared lateral de las estructuras, etc., se representan frente a un parámetro óptico como la apertura numérica para optimizar el diseño de una herramienta de exposición o para lograr un resultado reproducible y de alto rendimiento.