El trifluorosilano ( trifluoruro de silicio ) es el compuesto químico de fórmula F 3 H Si . A temperatura y presión estándar, el trifluorosilano es un gas incoloro. [1] Tenga en cuenta que el radical libre F 3 Si a menudo también se conoce como trifluorosilano.
El trifluorosilano ha sido purificado y separado por destilación al alto vacío a baja temperatura. Un método de preparación involucra productos de la reacción entre SbF 3 y HSiCl 3 . [2] El HSiCl 3 se obtiene mediante una reacción catalizada por cobre entre HCl y silicio a 200-400 °C.
El momento dipolar eléctrico del trifluorosilano es de 1,26 debye . [4] La longitud del enlace de silicio a flúor es de 1,555 Å, la longitud del Si-H es de 1,55 Å y ∠FSiF es de 110°. [5]