Los clorosilanos son un grupo de compuestos químicos reactivos que contienen cloro , relacionados con el silano y utilizados en muchos procesos químicos. Cada producto químico tiene al menos un enlace silicio -cloro. El triclorosilano se produce a gran escala. El clorosilano original es tetracloruro de silicio ( SiCl
4). [1]
Se preparan mediante el proceso Müller-Rochow , que consiste en tratar el silicio con cloruro de hidrógeno a temperaturas elevadas en presencia de un catalizador de cobre . La ecuación idealizada es
El triclorosilano (HSiCl 3 ) es el producto principal; Como subproductos se obtienen diclorosilano (H 2 SiCl 2 ) y tetracloruro de silicio (SiCl 4 ). El proceso fue descubierto de forma independiente por Eugene G. Rochow y Richard Müller en 1940.
El metiltriclorosilano (CH 3 SiCl 3 ), el dimetildiclorosilano ((CH 3 ) 2 SiCl 2 ) y el cloruro de trimetilsililo ((CH 3 ) 3 SiCl) se producen mediante el proceso directo. Son reactivos clave en la química del organosilicio.
Los clorosilanos reaccionan con el agua para producir cloruro de hidrógeno , dando siloxanos y eventualmente dióxido de silicio. En el caso del cloruro de trimetilsililo, el producto hidrolizado es hexametildisiloxano :
El tetracloruro de silicio y el triclorosilano son productos intermedios en la producción de silicio ultrapuro en la industria de los semiconductores. Los clorosilanos obtenidos a partir de silicio bruto se purifican mediante técnicas de destilación fraccionada y luego se reducen con hidrógeno para dar silicio de99.999 999 999 % pureza.