Interferometría de barrido de coherencia
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La interferometría de exploración de coherencia (CSI) se refiere a una clase de métodos de medición de superficies ópticas en los que la localización de las franjas de interferencia durante una exploración de la longitud de la trayectoria óptica proporciona un medio para determinar las características de la superficie, como la topografía, la estructura de la película transparente y las propiedades ópticas. CSI es actualmente la técnica de microscopía de interferencia más común para la medición de la topografía de la superficie de un área . [1] El término "CSI" fue adoptado por la Organización Internacional de Normalización ( ISO ). [2]

Señal CSI característica

La técnica abarca, entre otros, instrumentos que utilizan fuentes visibles de banda ancha espectral ( luz blanca ) para lograr la localización de franjas de interferencia. CSI utiliza la localización de franjas sola o en combinación con la fase de franjas de interferencia , según el tipo de superficie, la repetibilidad de la topografía de la superficie deseada y las capacidades del software. La siguiente tabla recopila términos alternativos que se ajustan al menos en parte a la definición anterior.

AcrónimoTérminoReferencia
CSIInterferometría de barrido de coherencia[3]
CPMMicroscopio de sonda de coherencia[4]
CSMMicroscopio de barrido de coherencia[5]
CRRadar de coherencia[6]
CCIInterferometría de correlación de coherencia[7]
MCMMicroscopio de correlación Mirau[8]
WLIInterferometría de luz blanca[9]
WLSIInterferometría de barrido de luz blanca[10]
SWLIInterferometría de luz blanca de barrido[11]
WLSEscáner de luz blanca
WLPSIInterferometría de cambio de fase de luz blanca[12]
VSIInterferometría de barrido vertical[13]
RSPPerfilador de superficies rugosas[14]
IRSEscaneo infrarrojo[15]
OCTTomografía de coherencia óptica de campo completo[dieciséis]

Referencias

  1. ↑ de Groot, P (2015). "Principios de la microscopía de interferencia para la medición de la topografía superficial". Avances en Óptica y Fotónica . 7 : 1–65. Código bibliográfico : 2015AdOP .... 7 .... 1D . doi : 10.1364 / AOP.7.000001 .
  2. ^ ISO (2013). 25178-604 : 2013 (E): Especificación de producto geométrico (GPS) - Textura de la superficie: Areal - Características nominales de los instrumentos sin contacto (microscopía interferométrica de barrido de coherencia) (2013 (E) ed.). Ginebra: Organización Internacional de Normalización.
  3. ^ Windecker, R .; Haible, P .; Tiziani, HJ (1995). "Interferometría de exploración de coherencia rápida para medir superficies lisas, rugosas y esféricas". Revista de Óptica Moderna . 42 (10): 2059-2069. Código Bibliográfico : 1995JMOp ... 42.2059W . doi : 10.1080 / 09500349514551791 .
  4. ^ Davidson, M .; Kaufman, K .; Mazor, I. (1987). "El microscopio de la sonda de coherencia". Tecnología de estado sólido . 30 (9): 57–59.
  5. ^ Lee, BS; Strand, TC (1990). "Perfilometría con microscopio de barrido de coherencia". Appl Opt . 29 (26): 3784–3788. Código Bibliográfico : 1990ApOpt..29.3784L . doi : 10.1364 / ao.29.003784 . PMID 20567484 . 
  6. ^ Dresel, T .; Häusler, G .; Venzke, H. (1992). "Detección tridimensional de superficies rugosas por radar de coherencia". Óptica aplicada . 31 (7): 919–925. Código bibliográfico : 1992ApOpt..31..919D . doi : 10.1364 / ao.31.000919 . PMID 20720701 . 
  7. ^ Lee-Bennett, I. (2004). Avances en metrología superficial sin contacto. Fabricación y pruebas ópticas, OTuC1.
  8. ^ Kino, GS; Chim, SSC (1990). "Microscopio de correlación Mirau". Óptica aplicada . 29 (26): 3775–83. Código Bibliográfico : 1990ApOpt..29.3775K . doi : 10.1364 / ao.29.003775 . PMID 20567483 . 
  9. ^ Larkin, KG (1996). "Algoritmo no lineal eficiente para la detección de envolvente en interferometría de luz blanca". Revista de la Sociedad Americana de Óptica A . 13 (4): 832. Código bibliográfico : 1996JOSAA..13..832L . CiteSeerX 10.1.1.190.4728 . doi : 10.1364 / josaa.13.000832 . 
  10. ^ Wyant, JC (septiembre de 1993). Cómo extender la interferometría para pruebas de superficies rugosas. Laser Focus World, 131-135.
  11. ^ Cubierta, L .; de Groot, P. (1994). "Perfilador sin contacto de alta velocidad basado en el escaneo de interferometría de luz blanca". Óptica aplicada . 33 (31): 7334–7338. Código Bibliográfico : 1994ApOpt..33.7334D . doi : 10.1364 / ao.33.007334 . PMID 20941290 . 
  12. ^ Schmit, J .; Olszak, AG (2002). "Desafíos en interferometría de cambio de fase de luz blanca". Proc. SPIE . Interferometría XI: Técnicas y Análisis. 4777 : 118-127. Código Bibliográfico : 2002SPIE.4777..118S . doi : 10.1117 / 12.472211 .
  13. ^ Harasaki, A .; Schmit, J .; Wyant, JC (2000). "Interferometría de barrido vertical mejorada". Óptica aplicada . 39 (13): 2107–2115. Código Bibliográfico : 2000ApOpt..39.2107H . doi : 10.1364 / ao.39.002107 . hdl : 10150/289148 .
  14. ^ Caber, PJ (1993). "Perfilador interferométrico para superficies rugosas". Appl Opt . 32 (19): 3438–3441. Código bibliográfico : 1993ApOpt..32.3438C . doi : 10.1364 / ao.32.003438 . PMID 20829962 . 
  15. ^ De Groot, P .; Biegen, J .; Clark, J .; Colonna; de Lega, X .; Grigg, D. (2002). "Interferometría óptica para la medición de las dimensiones geométricas de piezas industriales". Óptica aplicada . 41 (19): 3853–3860. Código bibliográfico : 2002ApOpt..41.3853D . doi : 10.1364 / ao.41.003853 . PMID 12099592 . 
  16. ^ Dubois, A; Vabre, L; Boccara, AC; Beaurepaire, E (2002). "Tomografía de coherencia óptica de campo completo de alta resolución con un microscopio Linnik". Óptica aplicada . 41 (4): 805-12. Código bibliográfico : 2002ApOpt..41..805D . doi : 10.1364 / ao.41.000805 . PMID 11993929 . 


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