La válvula de luz de rejilla ( GLV ) es una tecnología de "micro proyección" que funciona utilizando una rejilla de difracción ajustable dinámicamente . Compite con otras tecnologías de válvulas de luz , como el procesamiento de luz digital (DLP) y el cristal líquido sobre silicio (LCoS) para su implementación en dispositivos de proyectores de video , como televisores de retroproyección . El uso de sistemas microelectromecánicos (MEMS) en aplicaciones ópticas, lo que se conoce como MEMS ópticos o estructuras micro-opto-electromecánicos (MOEMS), ha permitido la posibilidad de combinar componentes mecánicos, eléctricos y ópticos a muy pequeña escala.
Silicon Light Machines (SLM), en Sunnyvale CA, comercializa y otorga licencias de tecnología GLV con las marcas registradas en mayúscula Grated Light Valve y GLV, anteriormente Grating Light Valve. [1] [2] La válvula difracta la luz láser utilizando una matriz de diminutas cintas móviles montadas sobre una base de silicio. El GLV utiliza seis cintas como rejillas de difracción para cada píxel. La alineación de las rejillas es alterada por señales electrónicas y este desplazamiento controla la intensidad de la luz difractada en una gradación muy suave.
La válvula de luz fue desarrollada originalmente en la Universidad de Stanford , en California, por el profesor de ingeniería eléctrica David M. Bloom, junto con William C. Banyai, Raj Apte, Francisco Sandejas y Olav Solgaard , profesor del Departamento de Ingeniería Eléctrica de Stanford . En 1994, la empresa emergente Silicon Light Machinesfue fundada por Bloom para desarrollar y comercializar la tecnología. Cypress Semiconductor adquirió Silicon Light Machines en 2000 y vendió la empresa a Dainippon Screen. Antes de la adquisición por parte de Dainippon Screen, se publicaron varios artículos de marketing en EETimes, EETimes China, EETimes Taiwan, Electronica Olgi y Fiber Systems Europe que destacaban las nuevas capacidades de fabricación de MEMS de Cypress Semiconductor. La empresa ahora es propiedad total de Dainippon Screen Manufacturing Co., Ltd. [3]
En julio de 2000, Sony anunció la firma de un acuerdo de licencia de tecnología con SLM [4] [5] para la implementación de la tecnología GLV en proyectores láser para grandes espacios, [6] pero en 2004 Sony anunció el proyector frontal SRX-R110 utilizando su propia tecnología basada en LCoS SXRD . SLM luego se asoció con Evans & Sutherland (E&S). Utilizando la tecnología GLV, E&S desarrolló el proyector láser E&S, diseñado para su uso en domos y planetarios. [7] El proyector láser E&S se incorporó al sistema de proyección de domo Digistar 3 .
El dispositivo GLV está construido sobre una oblea de silicio y consta de filas paralelas de microcintas altamente reflectantes (cintas de tamaños de unos pocos µm con una capa superior de aluminio) suspendidas sobre un espacio de aire que están configurados de tal manera que las cintas alternas (cintas activas se entrelazan con cintas estáticas) se pueden accionar dinámicamente. Las conexiones eléctricas individuales a cada electrodo de cinta activa proporcionan una actuación independiente. Las cintas y el sustrato son eléctricamente conductores para que la deflexiónde la cinta se puede controlar de manera analógica: cuando el voltaje de las cintas activas se ajusta al potencial de tierra, todas las cintas no se desvían y el dispositivo actúa como un espejo para que la luz incidente regrese por el mismo camino. Cuando se aplica un voltaje entre la cinta y el conductor base, se genera un campo eléctrico y desvía la cinta activa hacia el sustrato. Esta desviación puede ser tan grande como un cuarto de longitud de onda, por lo que crea efectos de difracción en la luz incidente que se refleja en un ángulo diferente al de la luz incidente. La longitud de onda a difractar está determinada por la frecuencia espacial de las cintas. Como esta frecuencia espacial está determinada por la máscara fotolitográfica utilizada para formar el dispositivo GLV en el CMOSproceso de fabricación, los ángulos de salida se pueden controlar con mucha precisión, lo que es útil para aplicaciones de conmutación óptica.