Harvey C. Nathanson


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Figura del primer dispositivo MEMS de la patente estadounidense 3413573
El primer dispositivo MEMS .

Harvey C.Nathanson (22 de octubre de 1936-22 de noviembre de 2019) fue un ingeniero eléctrico estadounidense que inventó el primer dispositivo MEMS (sistemas microelectromecánicos) del tipo que ahora se encuentra en productos que van desde iPhones hasta automóviles.

Los dispositivos MEMS, que se fabrican utilizando técnicas de fabricación de circuitos integrados , se componen de pequeños elementos mecánicos móviles que generalmente varían de 1 a 100 micrómetros (0,001 a 0,1 mm) de tamaño. Los dispositivos MEMS típicos incluyen los acelerómetros que se encuentran en los teléfonos inteligentes y los controladores de videojuegos, y los giroscopios utilizados en automóviles y dispositivos portátiles .

Nathanson concibió el primer dispositivo MEMS en 1965 para que sirviera como sintonizador de radios microelectrónicas. [1] Fue desarrollado con Robert A. Wickstrom y William E. Newell en Westinghouse Research Labs en Pittsburgh, PA., Y patentado como un aparato selectivo de frecuencia microeléctrica. [2]

Posteriormente, se patentó una versión refinada del dispositivo como el transistor de puerta resonante. [3]

En su trabajo en el desarrollo de dispositivos similares, Nathanson fue pionero en un método de fabricación por lotes en el que las capas de aisladores y metal sobre obleas de silicio se moldean y recortan mediante el uso de máscaras y capas de sacrificio, un proceso que luego se convertiría en un pilar de la fabricación de MEMS. [4]

En 1973, patentó el uso de millones de espejos móviles microscópicamente pequeños para crear una pantalla de video del tipo que ahora se encuentra en los proyectores digitales. [5]

En 2000, Nathanson recibió la Medalla del Milenio del Instituto de Ingenieros Eléctricos y Electrónicos por "contribuciones sobresalientes a la Sociedad y al campo de los dispositivos electrónicos". [6]

Graduado de la Universidad Carnegie Mellon , posee más de 50 patentes en el campo de la electrónica de estado sólido. [7]

Referencias

  1. ^ "Un transistor de superficie de silicio de puerta resonante con propiedades de paso de banda de alta calidad" . Letras de Física Aplicada . 15 de agosto de 1965 . Consultado el 25 de diciembre de 2010 .
  2. ^ Patente de EE.UU. 3413573 , Nathanson et al, "Aparato selectivo de frecuencia microelectrónica con miembro vibratorio y medios sensibles al mismo", emitida el 26 de noviembre de 1968 
  3. ^ Patente estadounidense 3590343 , Nathanson et al, "Transistor de puerta resonante con electrodo de puerta flotante electrónicamente de posición fija además del miembro resonante", emitida 1971-6-29 
  4. ^ "Sistemas microelectromecánicos (MEMS)" . ProQuest . Octubre de 2001 . Consultado el 25 de diciembre de 2010 .
  5. ^ Patente de Estados Unidos 3746911 , Nathanson et al, "Válvulas de luz desviables electrostáticamente para pantallas de proyección", emitida 1973-7-17 
  6. ^ "Ganadores de la medalla del milenio IEEE EDS" . Sociedad de dispositivos electrónicos IEEE . 5 de agosto de 2010. Archivado desde el original el 13 de septiembre de 2015 . Consultado el 25 de diciembre de 2010 .
  7. ^ "Patentes de Harvey C. Nathanson" . Patentes de Google . Consultado el 14 de agosto de 2020 .