El Journal of Vacuum Science and Technology es una revista científica revisada por pares publicada en dos partes, A y B , por el Instituto Estadounidense de Física en nombre de la Sociedad Estadounidense del Vacío . Se estableció en 1964 y el editor en jefe es Eray Aydil ( Universidad de Minnesota ).
Disciplina | Física |
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Idioma | inglés |
Editado por | Eray Aydil |
Detalles de la publicación | |
Historia | 1964-presente |
Editor | American Institute of Physics en nombre de la American Vacuum Society (Estados Unidos) |
Frecuencia | Bimensual |
Factor de impacto | 1.710 (Parte A ) 1.257 (Parte B ) (2018) |
Abreviaturas estándarISO 4 ( alt ) · Bluebook ( alt1 · alt2 ) NLM ( alt ) · MathSciNet ( alt ) | |
ISO 4 | J. Vac. Sci. Technol. |
IndexaciónCODEN · JSTOR ( alt ) · LCCN ( alt ) MIAR · NLM ( alt ) · Scopus | |
Revista de ciencia y tecnología del vacío | |
ISSN | 0022-5355 |
Revista de ciencia y tecnología del vacío A | |
CODEN | JVTAD6 |
ISSN | 0734-2101 (impresión) 1520-8559 (web) |
LCCN | 83643441 |
OCLC no. | 08697396 |
Revista de ciencia y tecnología del vacío B | |
CODEN | JVTBD9 |
ISSN | 0734-211X |
LCCN | 83642371 |
OCLC no. | 08697479 |
Enlaces | |
Historia
- 1964-1982 Revista de ciencia y tecnología del vacío
- 1983-presente Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacío, superficies y películas
- 1983-1990 Journal of Vacuum Science & Technology B: Procesamiento y fenómenos microelectrónicos
- 1991 al presente Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectrónica y estructuras nanométricas
Parte A
La Parte A cubre la ciencia aplicada de superficies , materiales electrónicos y procesamiento, tecnología de fusión, tecnología de plasma, ciencia de superficies , películas delgadas , metalurgia de vacío y tecnología de vacío. Según Journal Citation Reports , la revista tiene un factor de impacto de 2015 de 1,724. [1]
Parte B
La Parte B cubre el procesamiento por vacío y plasma de diversos materiales, su caracterización estructural, microlitografía y la física y química de estructuras y dispositivos submicrométricos y nanométricos. Según Journal Citation Reports , la revista tiene un factor de impacto de 2014 de 1.398. [2]
Referencias
- ^ "Revista de ciencia y tecnología del vacío, parte A". Informes de citas de revistas de 2015 . Web of Science (Science ed.). Thomson Reuters . 2016.
- ^ "Revista de ciencia y tecnología del vacío, parte B". Informes de citas de revistas de 2015 . Web of Science (Science ed.). Thomson Reuters . 2016.