Mattson Technology Inc es una empresa de tecnología estadounidense que fue fundada en 1988 por Brad Mattson y tiene su sede en Fremont , California . La empresa es tanto fabricante como proveedora en el mercado de equipos de semiconductores a nivel mundial. Sus principales productos son el sistema de tira seca, el procesamiento térmico rápido y el grabado. La empresa ofrece productos para clientes y fabricantes, como fundiciones, memoria y dispositivos lógicos. [2] [3]
Las oficinas principales de Mattson sirvieron como lugar de rodaje del edificio Cyberdyne Systems de Terminator 2: Judgment Day .
En mayo de 2016, Mattson Technology y Beijing ETOWN ("E-Town Dragon") anunciaron conjuntamente que se había completado la adquisición previamente anunciada de Mattson por parte de E-Town. [4] El Dr. Allen Lu se ha desempeñado como director ejecutivo y presidente de la empresa desde octubre de 2016.
Los principales productos de la empresa son equipos de procesamiento de obleas de semiconductores que se utilizan en la fabricación de circuitos integrados (CI). Sus productos de banda seca (SUPREMA) incorporan su fuente y plataforma de radiofrecuencia de plasma acoplado inductivamente protegido (ICP) de Faraday que se utiliza en la producción en el nodo de 65 nanómetros e inferior. Además, sus productos de procesamiento térmico rápido (RTP) (Helios, Helios XP y Millios) se utilizan en el recocidoaplicaciones Estos productos utilizan tecnología de calefacción basada en lámparas de doble cara para controlar la fabricación del chip. Sus productos de grabado (paradigmE y Alpine) con una combinación de ICP protegido por Faraday y control de sesgo de grabado para el rendimiento en oblea. El grabado es el proceso de eliminar cualquier material depositado o capas de la superficie de la oblea para crear el patrón deseado en la superficie de la oblea. [3]
Mattson Technology es uno de los líderes en el mercado de bandas secas y es el segundo mayor proveedor de productos RTP. Hay varias tecnologías importantes ampliamente utilizadas en sus productos, a saber, la transición de 45 nm; (Etch) Alpine, paradigma Si; (Franja) SUPREMA, SUPREMA XP5; (TPG) Helios, Helios XP, Millios. [5]
En diciembre de 2013, Mattson Technology anunció su paradigmaE XP, un sistema de grabado de próxima generación, que amplía la tecnología de grabado de la empresa y permite a los fabricantes de chips abordar los desafíos de procesamiento para la fabricación de semiconductores tridimensionales de vanguardia. Este nuevo sistema ha sido calificado en noviembre por tecnologías avanzadas de dispositivos DRAM. [6]