El moldeo de vidrio de precisión es un proceso replicativo que permite la producción de componentes ópticos de alta precisión a partir de vidrio sin esmerilar ni pulir . El proceso también se conoce como prensado de vidrio de ultra precisión . Se utiliza para fabricar lentes de vidrio de precisión para productos de consumo como cámaras digitales y productos de alta gama como sistemas médicos. La principal ventaja sobre la producción de lentes mecánicos es que se pueden producir geometrías de lentes complejas, como asferas , de manera rentable.
Proceso
El proceso de moldeo de vidrio de precisión consta de seis pasos: [1] [2]
- El vidrio en blanco se carga en el lado inferior de la herramienta de moldeo.
- El oxígeno se elimina del área de trabajo llenándolo con nitrógeno y / o evacuando la cámara de proceso.
- El sistema de herramientas está casi cerrado (sin contacto del molde superior) y todo el sistema de molde, matriz y vidrio se calienta. Las lámparas infrarrojas se utilizan para calentar en la mayoría de los sistemas.
- Después de alcanzar la temperatura de trabajo, que se encuentra entre la temperatura de transición y el punto de ablandamiento del vidrio, los moldes se cierran más y comienzan a presionar el vidrio en un proceso de recorrido controlado.
- Cuando se alcanza el espesor final de la pieza, el prensado cambia a un proceso controlado por fuerza.
- Una vez completado el moldeado, el vidrio se enfría y el entorno de trabajo se llena con nitrógeno. Cuando la lente se ha enfriado hasta el punto en que se puede manipular, se retira de la herramienta.
El proceso se ejecuta en una máquina de moldeo especializada, que controla con precisión la temperatura, el desplazamiento y la fuerza durante el proceso. Las herramientas utilizadas deben soportar altas temperaturas y presiones, y deben ser resistentes a la interacción química con el vidrio. Los materiales del molde también deben ser adecuados para el mecanizado en los perfiles de superficie precisos.
Cadena de proceso
Para garantizar la calidad deseada, las piezas se miden entre cada paso del proceso. Además, las piezas se manipulan y transportan con cuidado entre los pasos de procesamiento y metrología.
- Conformado en caliente de gotas: el proceso de moldeo de vidrio de precisión produce los mejores resultados tanto en calidad como en costo si trabaja con preformas precisas. Por lo general, se adquieren presionando o formando en caliente "gotas" de vidrio fundido. Este paso se realiza mediante la fusión y el moldeo continuo del vidrio en moldes de metal de una cara. Este proceso solo es adecuado para grandes volúmenes de producción. Para volúmenes de producción más pequeños, las preformas deben fabricarse mediante pasos mecánicos de eliminación de material de bloques o láminas de vidrio en bruto.
- Moldeado de vidrio de precisión: en este paso, la preforma se forma directamente en una lente de vidrio óptico. Es necesario limpiar la preforma de vidrio y el molde antes de iniciar el proceso, pero no se requiere pulido ni post-mecanizado.
- Recubrimiento de la lente: se aplica un recubrimiento antirreflejos a las lentes terminadas. Las lentes se limpian primero y luego se cargan en un accesorio. El dispositivo, que contiene una gran cantidad de lentes, se coloca en la máquina de recubrimiento. Una vez finalizado el proceso, las lentes de vidrio se retiran del soporte y el soporte se limpia mediante chorro de arena u otras técnicas. Por lo general, el recubrimiento óptico se realiza mediante uno de dos métodos: deposición física de vapor (PVD), en el que los materiales de óxido se evaporan y se depositan en la lente, y deposición química de vapor mejorada con plasma (PECVD). Las reacciones químicas tienen lugar al vacío y el producto de reacción se deposita sobre la lente. Las lentes están recubiertas por dos razones:
- Manipular o mejorar la transmisión / reflexión óptica.
- Mejora las propiedades mecánicas, químicas o eléctricas.
Diseño de herramientas y moldes
Formas de lentes
Forma de elemento óptico
El moldeo de vidrio de precisión se puede utilizar para producir una gran variedad de elementos de forma óptica, como esferas , asferas , elementos de forma libre y estructuras de matriz .
En cuanto a la curvatura de los elementos de la lente, las siguientes afirmaciones se pueden extraer: formas de lentes aceptables son la mayoría de biconvexas , plano-convexas y templado menisco formas. No son inaceptables pero difíciles de moldear las lentes bicóncavas , las lentes de menisco empinadas y las lentes con características severas (por ejemplo, una protuberancia en una superficie convexa). En general, las lentes plano-curvadas son más fáciles de moldear que las lentes con ambos lados curvados, ya que es más fácil hacer coincidir las caras planas. El moldeado de formas cóncavas con un grosor central pequeño es difícil debido a que la pieza moldeada se pega al molde como resultado de los diferentes coeficientes de expansión térmica. Además, se recomienda evitar cortes y bordes afilados. Para el diseño de la lente, se debe considerar que la lente debe poder montarse en sistemas de medición.
Forma de las preformas
La forma de la preforma o "pieza en bruto" debe elegirse de acuerdo con la geometría del elemento óptico terminado. Las posibles preformas son esféricas (bola), casi esféricas (gob), plano-plano, plano-convexo, plano-cóncavo, biconvexo y bicóncavo en blanco. Los espacios en blanco de bolas y gob no tienen que ser premecanizados, mientras que otras preformas requieren esmerilado y pulido. [3]
La siguiente sección describe los rasgos básicos de la elección de preformas:
- Preforma de bola formada
"Usado específicamente para lentes con poder positivo: biconvexos, plano-convexos y meniscos donde el lado convexo es más fuerte que el cóncavo, esto solo funciona para un volumen relativamente pequeño de material". [4]
- Preforma Plano-Plano rectificada y pulida
“A medida que una lente cambia a negativo en potencia bicóncava, plano-cóncava y menisco donde el lado cóncavo es más fuerte, se requiere una forma alternativa de preforma, plano-plano, para el proceso de moldeo. […] En relación a una preforma formada se observa un incremento en el costo de fabricación de este tipo de preforma ”. [4]
- Preforma de bola pulida y rectificada
“Cuando la geometría de una lente se extiende más allá del rango de volumen de una preforma de bola formada, se requiere una preforma de bola pulida y pulida. Se utiliza para lentes con potencia positiva: biconvexos, plano-convexos y menisco: donde el lado convexo es más fuerte, esta geometría permite moldear lentes con un volumen total mayor. […] En relación con una preforma formada y una preforma plano-plano, se observa un aumento en el costo de fabricación de este tipo de preforma ”. [4]
- Preforma Lenslet rectificada y pulida
“La preforma de Lenslet es principalmente para lentes con potencia positiva, biconvexos, planoconvexos y meniscos: donde el lado convexo es la superficie más fuerte. El uso de este tipo de preforma permite moldear el mayor volumen de vidrio en un momento dado en las máquinas de moldeo. El Lenslet se muele y se pule tradicionalmente hasta una forma casi neta de la lente final, y luego se presiona. [...] El costo asociado con la fabricación de la preforma de lentillas es el más alto de todos los tipos de preforma ". [4]
- Preforma de Gob
Las gotas de precisión se pueden utilizar como preformas para la producción de lentes asféricas en un proceso de moldeo de precisión. Se fabrican a partir de un proceso continuo de fusión de vidrio. Las gotas de precisión resultantes exhiben una superficie pulida al fuego muy suave con una excelente rugosidad superficial y una gran precisión de volumen.
Dimensiones
Las dimensiones de los elementos ópticos que se pueden moldear dependen del tamaño de la máquina de moldeo. El proceso de moldeo de vidrio de precisión no se limita a pequeñas ópticas. Para la geometría del elemento correcta, puede permitir la producción económica de lentes asféricas de hasta 60 mm de diámetro y más de 20 mm de espesor. [5]
Recomendaciones generales de diseño:
Tamaño:
- Rango de diámetro: 0,5–70 mm según la aplicación [6]
- Ángulo de flanco: A veces <60 grados debido a la metrología limitada [6], pero algunos fabricantes que tienen capacidades de metrología ampliadas pueden obtener ángulos más altos (por ejemplo, Panasonic UA3P o similar).
- Espesor de borde preferiblemente> 1.0 mm, [4] alternativamente 0.5 a 2.0 x espesor central [7]
- La apertura clara debe ser menor que el diámetro de la lente, preferiblemente al menos 1.0 mm (por lado) menos [4]
- Superficies ópticas: [4]
Radio:
- Radio de la base no inferior a 3,0 mm
Superficies ópticas:
- Caídas no mayores de 8 mm en superficies cóncavas y convexas
- La transición de la superficie óptica al diámetro exterior de la lente requiere un valor de radio mínimo de 0,3 mm.
Volumen:
- Volumen de la lente (incluidas las bridas), V <= 4/3 π r 3 , donde r es el radio convexo local más pequeño.
Tolerancias
Aunque la forma, las tolerancias dimensionales y de posición que se pueden lograr en el moldeo de vidrio de precisión están sujetas a un borde natural, los valores que se logran en la práctica dependen en gran medida del grado de control y experiencia en la fabricación de moldes y el moldeo. La siguiente tabla ofrece una descripción general de las tolerancias de fabricación alcanzables en el moldeo de vidrio de precisión en diferentes empresas. [8]
Parámetro | Óptica de precisión de Rochester [9] | Braunecker [10] | Óptica de camino de luz [11] | Ingeneric [12] | |
---|---|---|---|---|---|
Diámetro | + 0 / -0.010 mm | +/- 0,005 mm | 0,005 mm | +/- 0,005 mm | |
Espesor del centro | +/- 0,012 mm | +/- 0,010 mm | 0,010 mm | +/- 0,01 mm | |
Alineación | 2,5 min (eje) | <1,5 min (angular) | - | - | 5 µm |
Scratch-Dig | 20-10 | 20-10 / 10-5 | - | 20-10 | |
Abbe-Número | +/- 0,5% | +/- 1% | 1% | - | |
Rugosidad de la superficie | - | <3 nm | 10 nm | 5 millas náuticas | 4 nm |
Índice de refracción | +/- 0,0003 | +/- 0,001 | 0,001 | - | |
Cuña | 0,01 mm | +/- 1 min de arco | 1 min de arco | 3 ' |
Para lentes asféricas, el diseño debe poder tolerar 0.010 mm de cizallamiento lateral entre superficies más 5 micrómetros de Reflexión Interna Total de la cuña (a través de la pieza sin considerar el cizallamiento lateral) para ser considerado robusto. [7]
Especificaciones para asferas: [6]
- Rugosidad superficial (Ra): <3 µm según diámetro
- Error de forma (PV): <1 µm dependiendo del diámetro
Caída de índice
Debido al rápido enfriamiento después del moldeo, la pieza retiene una pequeña cantidad de tensión residual. En consecuencia, el vidrio presenta un pequeño cambio en el índice de refracción que debe tenerse en cuenta en el diseño óptico. Una mayor velocidad de enfriamiento corresponde a una mayor disminución del índice de refracción. Una tasa de enfriamiento más baja podría evitar la caída del índice, pero sería menos rentable [4]
Material de vidrio
Se pueden usar muchos vasos con PGM. Sin embargo, existen algunas limitaciones: [4]
- La temperatura de transición vítrea Tg no debe exceder la temperatura máxima de calentamiento del molde.
- Muchos vasos de sílex de óxido de plomo no cumplen con la directiva RoHS EU ( Restricción de ciertas sustancias peligrosas )
- La composición del vidrio influye en la vida útil de la herramienta de moldeo.
- Los materiales de calcogenuro requieren ciertas formas de preforma
- La expansión / contracción del vidrio es un fenómeno que depende en gran medida de la temperatura y la velocidad. El coeficiente de expansión térmica (CTE) del molde y el vidrio debe coincidir. Una alta diferencia de CTE significa una gran desviación entre el vidrio moldeado y el molde. Los vidrios de alto CTE también son críticos en términos de distribución de temperatura no uniforme en el vidrio. Esto significa que no se puede aplicar un enfriamiento especialmente rápido. Además de esto, la diferencia de temperatura entre la lente caliente directamente después del moldeado y el aire circundante puede fácilmente causar grietas. [15] [16]
- Además, la dependencia de la temperatura de la viscosidad del vidrio, la relajación viscoelástica estructural y de tensión del vidrio juegan un papel importante en la determinación de la forma de la preforma de la lente, el estado final de tensión y la desviación de la forma. [17]
- La calidad interna y externa del blanco debe ser igual o mejor que los requisitos de la lente terminada, ya que el proceso de moldeo de vidrio de precisión no puede mejorar la calidad del vidrio.
- El vidrio presenta un cambio en el índice de refracción, llamado caída de índice, durante el proceso de recocido. Esta caída es causada por un enfriamiento rápido del inserto del molde, lo que induce una pequeña cantidad de tensión residual en el vidrio. Como resultado, el vidrio presenta un pequeño cambio de índice en comparación con su estado de recocido fino. La caída del índice es pequeña (generalmente .002-.006), pero el diseño óptico debe optimizarse para compensar este cambio. Como ejemplo, la caída de índice para diferentes tipos de vidrio se muestra en la imagen de la derecha para diferentes velocidades de recocido. Tenga en cuenta que la velocidad de recocido no es necesariamente constante durante el proceso de enfriamiento. Las tasas de recocido "promedio" típicas para el moldeo de precisión están entre 1000 K / hy 10,000 K / h (o más). No solo se modifica el índice de refracción, sino también el número de Abbe del vidrio debido al recocido rápido. Los puntos mostrados en la imagen de la derecha indican una tasa de recocido de 3500 k / h.
Se han desarrollado los denominados "vidrios de baja Tg" con una temperatura de transición máxima de menos de 550 ° C para permitir nuevas rutas de fabricación de los moldes. Los materiales de molde, como el acero, se pueden utilizar para moldear vidrios de baja Tg, mientras que los vidrios de alta Tg requieren un material de molde de alta temperatura, como el carburo de tungsteno .
Materiales de sustrato
El material del molde debe tener suficiente resistencia, dureza y precisión a alta temperatura y presión. También se requieren buena resistencia a la oxidación, baja expansión térmica y alta conductividad térmica. El material del molde debe ser adecuado para soportar las temperaturas del proceso sin sufrir procesos de deformación. Por lo tanto, la elección del material del molde depende fundamentalmente de la temperatura de transición del material de vidrio. Para vidrios de baja Tg, se pueden utilizar moldes de acero con un revestimiento de aleación de níquel. Dado que no pueden soportar las altas temperaturas requeridas para los vidrios ópticos normales, en este caso deben utilizarse materiales resistentes al calor como las aleaciones de carburo. Además, los materiales del molde incluyen aleaciones de aluminio, carbono vítreo o vítreo, carburo de silicio, nitruro de silicio y una mezcla de carburo de silicio y carbono. [18]
Un material comúnmente utilizado en la fabricación de moldes es el carburo de tungsteno . Los insertos de molde se fabrican mediante pulvimetalurgia, es decir, un proceso de sinterización seguido de procesos de posmecanizado y sofisticadas operaciones de rectificado. Más comúnmente, se agrega un aglutinante metálico (generalmente cobalto) en la sinterización en fase líquida. En este proceso, el aglutinante metálico mejora la tenacidad del molde, así como la calidad de sinterización en la fase líquida hasta un material completamente denso. [19] Los moldes hechos de materiales duros tienen una vida útil típica de miles de piezas (según el tamaño) y son rentables para volúmenes de 200-1000 + (según el tamaño de la pieza).
Fabricación de moldes
Este artículo describe cómo se fabrican los insertos de molde para el moldeo de vidrio de precisión.
Para garantizar estándares de alta calidad, se implementan pasos de metrología entre cada paso del proceso.
- Procesamiento de polvo : este paso del proceso es responsable de lograr tamaños de grano adecuados para el prensado y el mecanizado. El polvo se procesa moliendo la materia prima.
- Prensado : Este paso realiza el preformado de los cuerpos en bruto "verdes" de los insertos del molde.
- Sinterización : mediante la sinterización, los cuerpos en verde preformados se comprimen y endurecen. Para hacer esto, el cuerpo verde se calienta a una temperatura por debajo de la temperatura de fusión. El proceso de sinterización consta de tres fases: en primer lugar, se reduce el volumen y la porosidad y en segundo lugar, se reduce la porosidad abierta. En la tercera fase, se forman cuellos de sinterización que mejoran la resistencia del material.
- Premecanizado : el paso de premecanizado crea la forma principal del inserto óptico. Por lo general, contiene cuatro pasos de proceso. Estos pasos son el rectificado del diámetro interior / exterior, el rectificado de las caras paralelas / extremas del inserto, el rectificado / lapeado del accesorio del inserto y, finalmente, el rectificado casi en forma de red de la cavidad. Normalmente, la cavidad solo se mecaniza previamente en una esfera plana o de mejor ajuste.
- Rectificado : el rectificado o mecanizado de acabado crea la forma final y el acabado de la superficie de la cavidad en el inserto del molde. Por lo general, el acabado se realiza mediante esmerilado; opcionalmente se requiere un paso de pulido posterior. El rectificado de acabado puede requerir varios cambios de la herramienta de rectificado y varios pasos de rectificado de la herramienta. El mecanizado de acabado del molde es un proceso iterativo: siempre que el molde mecanizado muestre desviaciones del contorno nominal en el paso de medición después del rectificado, debe rectificarse. No existe un límite bien definido entre el premecanizado y el rectificado fino. A lo largo del proceso de rectificado de la cavidad, el tamaño de grano de la herramienta, la velocidad de avance y la profundidad de corte se reducen mientras que el tiempo de mecanizado aumenta. Las superficies convexas son más fáciles de fabricar. Los pasos necesarios de la preparación de la pieza de trabajo son la alineación del molde y la referencia del molde. También es necesario realizar la alineación de la herramienta de rectificado, la referencia de la herramienta de rectificado y el alineamiento de la herramienta de rectificado. Después de ese pulido puede ser necesario eliminar la estructura anisotrópica que queda después del pulido. Se puede realizar manualmente o mediante una máquina CNC.
- Recubrimiento : El recubrimiento es el paso del proceso en el que se aplica una capa sobre la superficie de la cavidad del inserto óptico que protege el molde contra el desgaste, la corrosión, la fricción, la adherencia del vidrio y las reacciones químicas con el vidrio. Para recubrir la superficie de los moldes mediante deposición física de vapor (PVD), los metales se evaporan en combinación con productos químicos basados en gases de proceso. En la superficie de la herramienta se sintetizan recubrimientos finos de alta adherencia. Los materiales para recubrimientos en inserciones ópticas son PVD a base de platino (en su mayoría aleado con iridio, estándar), carbono similar al diamante (aún no disponible comercialmente), SiC (CVD) sobre cerámicas de SiC (aún no disponible comercialmente, deben mecanizado) o TiAlN (aún no disponible comercialmente). Para lograr un espesor de capa homogéneo, la posición del molde debe cambiarse durante el recubrimiento. Para preparar el molde para el revestimiento, las superficies deben desengrasarse, limpiarse (en condiciones de sala limpia o casi limpia) y mezclarse. Especialmente el cátodo de la máquina debe limpiarse. Después de este proceso, la pieza de trabajo debe ser desacoplada.
- Ensamblaje : En este paso del proceso, el inserto óptico y la base del molde se combinan para formar el molde ensamblado. Para un elemento óptico son necesarios dos insertos de molde que se ensamblan fuera de la máquina. Para el montaje, la medición de la altura y el ajuste del espaciador son fundamentales.
- Pruebas de moldeo : este paso determina si el molde crea la forma y la calidad de la superficie especificadas. Si el moho no es adecuado, se debe rectificar. Es parte de un ciclo iterativo. El montaje del molde debe introducirse en la máquina para iniciar el moldeo de prueba.
Para guardar la calidad y permitir una alerta temprana en caso de problemas entre cada paso, debe haber un paso de medición y referencia. Además de eso, el tiempo de transporte y manipulación debe tenerse en cuenta en la planificación del proceso.
Metrología y aseguramiento de la calidad
Una vez que se han desarrollado el proceso y la herramienta, el moldeo de vidrio de precisión tiene una gran ventaja sobre las técnicas de producción convencionales. La mayoría de las características de calidad de la lente están ligadas a herramientas. Esto significa que las lentes, que se presionan con la misma herramienta y proceso, por lo general solo tienen pequeñas desviaciones insignificantes. Por ejemplo, una característica importante de una lente es la forma de la superficie óptica. En el caso de lentes asféricas, la medición de superficies ópticas es muy difícil y está relacionada con grandes esfuerzos. Además, cuando se trabaja con sistemas de medición táctil, siempre existe el riesgo de que se raye la superficie óptica. Para lentes moldeados con precisión, estas mediciones solo son necesarias para una pequeña cantidad de lentes de muestra para calificar la herramienta. La producción en serie se puede ejecutar sin necesidad de realizar más mediciones. En este caso, solo se debe controlar la limpieza de la superficie óptica. Otra ventaja es que el grosor del centro de la lente se puede estimar a partir del grosor del borde fácilmente medible o aplicando un sistema de medición sin contacto. [20]
Recubrimientos protectores
Para mejorar la vida útil del inserto de molde, se pueden aplicar revestimientos protectores. “Los materiales que se han seleccionado para los recubrimientos antiadherentes se pueden dividir en 5 grupos que incluyen: (1) carburos, nitruros, óxidos y boruros de una sola capa como TiN, BN, TiAlN, NiAlN, TiBC, TiBCN, NiCrSiB y Al 2 O 3 , (2) gradientes y multicapas a base de nitruros o carburos, (3) películas de superrejilla a base de nitruros, (4) carbono amorfo o carbono similar al diamante y (5) aleaciones a base de metales preciosos ” [21]
Los experimentos llevados a cabo por Ma et al. producen los siguientes resultados: [21] “Cuanto mayor es la temperatura, menor es el ángulo de humectación entre la gota de vidrio y el sustrato. Esto indica que se produjo una reacción química de interfaz severa que resultó en la pérdida de transparencia en la apariencia del vidrio. El experimento de humectación en ambiente de nitrógeno mejoró la situación de adherencia. La combinación de sustratos y recubrimientos químicamente estables, como Zafiro (sustrato) / GaN (película) y Vidrio (sustrato) / Al 2 O 3 (película) puede lograr el mejor antiadherente propuesto. Las películas de metales preciosos como PtIr (platino, iridio) recubiertas sobre los sustratos de cerámica pueden reducir eficazmente la reacción de interfaz entre el vidrio y los sustratos ".
Aunque se utiliza PtIr como material de revestimiento estándar, tiene la desventaja de ser caro. Por tanto, las actividades de investigación apuntan a sustituir el PtIr por materiales más baratos.
Ver también
- Fabricación y prueba (componentes ópticos)
Referencias
- ^ Klocke, F. et al .: "Fabricación de óptica de difracción de vidrio mediante el uso del proceso de moldeo", Sociedad Estadounidense de Ingeniería de Precisión (Reunión Anual) 21, 2006, Monterey / Calif.
- ^ Klocke, F .; Dambon, O .; Hünten, M.:"Integrative Fertigung von Mikrooptiken "erschienen en" WT Werkstatttechnik Online "Heft-Nr.6 / 99
- ^ Klocke, F .; Dambon, O .; Wang, F .: "Referate der Vorträge und Poster der 81. Glastechnischen Tagung der Deutschen Glastechnischen Gesellschaft", 04. - 06. Junio de 2007, Aquisgrán
- ^ a b c d e f g h i Deegan, J. et al .: Informe técnico de moldeo de vidrio de precisión RPO 28/06/2007. Descargar aqui
- ^ Vogt, H .: El moldeo de precisión proporciona una óptica de consumo compacta. Laser Focus World, julio de 2007, páginas 115-118. Para ver el artículo en línea, haga clic aquí.
- ^ a b c Braunecker, B .: Óptica avanzada con elementos asféricos. SPIE Press, Bellingham, 2008, p. 264
- ^ a b "Copia archivada" . Archivado desde el original el 4 de julio de 2008 . Consultado el 14 de agosto de 2009 .CS1 maint: copia archivada como título ( enlace )
- ^ Klocke, F .; Dambon, O .; Sarikaya, H .; Pongs, G.:"Investigaciones sobre la precisión del moldeo de componentes de vidrio de formas complejas "de" Actas de la Conferencia Internacional euspen - Zúrich - mayo de 2008 "
- ^ Deegan, J. et al .: Informe técnico de moldeo de vidrio de precisión RPO 28/06/2007
- ^ Braunecker, B .: Óptica avanzada con elementos asféricos. SPIE Press, Bellingham, 2008, p.255
- ^ Óptica Lightpath: http://www.lightpath.com/
- ^ "Productos - Componentes ópticos" .
- ^ "FISBA | Componentes ópticos avanzados y sistemas personalizados" . www.fisba.com . Consultado el 30 de marzo de 2017 .
- ^ "Copia archivada" . Archivado desde el original el 31 de marzo de 2017 . Consultado el 30 de marzo de 2017 .CS1 maint: copia archivada como título ( enlace )
- ^ http://www.wiley-vch.de/berlin/journals/op/09-04/OP0904_S46-S48.pdf
- ^ "Por". 2014. CiteSeerX 10.1.1.677.4477 . Cite journal requiere
|journal=
( ayuda ) - ^ Ananthasayanam et.al. Forma final de la óptica moldeada con precisión: Parte II — Validación y sensibilidad a las propiedades del material y los parámetros del proceso, https://www.tandfonline.com/doi/abs/10.1080/01495739.2012.674838
- ^ "Copia archivada" . Archivado desde el original el 22 de abril de 2013 . Consultado el 14 de agosto de 2009 .CS1 maint: copia archivada como título ( enlace )
- ^ Choi, W. et al .: Diseño y fabricación de moldes de carburo de tungsteno con micro patrones impresos por micro litografía. J. Micromech. Microeng. 14 (2004) 1519–1525
- ^ "Copia archivada" . Archivado desde el original el 22 de enero de 2009 . Consultado el 24 de agosto de 2009 .CS1 maint: copia archivada como título ( enlace )
- ^ a b Ma, KJ et al .: Diseño de recubrimientos protectores para moldeo de lentes de vidrio. Materiales de ingeniería clave Vols. 364-366 (2008), págs. 655-661