Un calentador de bolsillo giratorio , también llamado calentador de bolsillo o calentador Kinder, sostiene y gira un sustrato durante la deposición al vacío . [1] Durante la rotación, el sustrato se expone secuencialmente a más de un entorno, por ejemplo, calor, oxígeno, vapor de metal, etc. [2] Se han utilizado calentadores de bolsillo giratorios en el sistema de evaporación reactiva para crear capas YBa2Cu3O7 en obleas planas de semiconductores. . [3]
La ilustración de la derecha muestra un ejemplo de un calentador de bolsillo que se utiliza para depositar capas de diboruro de magnesio sobre un sustrato. Un eje vertical (32) hace girar un disco horizontal (30) varios cientos de rotaciones por minuto (RPM). La ilustración muestra dos de varios sustratos (14) unidos a la parte inferior del disco giratorio. Los sustratos están unidos por sus bordes, de modo que la mayor parte de la parte inferior de los sustratos está expuesta al vapor que se encuentra debajo. Todo el aparato está encerrado en una cámara mantenida a baja presión por una bomba de vacío.
El diboruro de magnesio (MgB 2 ) es un sólido iónico con propiedades superconductoras. La deposición de vapor es difícil porque la presión de vapor del magnesio es mucho mayor que la del boro. El calentador de bolsillo resuelve este problema proporcionando un ambiente separado para cada material.
En mayo de 2015, agentes del FBI arrestaron al profesor Xiaoxing Xi , presidente del departamento de física de la Universidad de Temple , acusándolo de compartir esquemas de un calentador de bolsillo con científicos chinos. Los fiscales retiraron todos los cargos en septiembre de 2015 después de que se demostró que habían malinterpretado la evidencia y que Xi nunca compartió el diagrama del calentador de bolsillo con nadie en China. [4] El calentador de bolsillo giratorio no es una tecnología restringida y fue inventado por primera vez por los físicos alemanes Berberich, Prusseit y Kinder . [2] Theva Dunnschichttechnik GmbH de Alemania posee la patente del calentador de bolsillo.