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Tuomo Suntola (nacido en 1943) es un físico, inventor y líder tecnológico finlandés. Es mejor conocido por su investigación pionera en ciencia de materiales, desarrollando la técnica de crecimiento de película delgada llamada deposición de capa atómica .

Vida temprana

Suntola nació en Tampere , Pirkanmaa , en 1943, durante la Guerra de Continuación . Mostró interés en la tecnología desde el principio, construyendo réplicas de madera de aviones de la Segunda Guerra Mundial. En su adolescencia sus intereses se expandieron y progresó a radios y amplificadores. [1]

Formación y carrera

En 1971, Tuomo Suntola obtuvo su doctorado en física de semiconductores en la Universidad Tecnológica de Helsinki . Después de completar su doctorado, Suntola realizó su primer desarrollo industrial mientras trabajaba en el Centro de Investigación Técnica VTT de Finlandia , un sensor de humedad de película delgada "Humicap" para Vaisala Oy , una empresa finlandesa especializada en instrumentos meteorológicos.

En 1974, Suntola inició el desarrollo de pantallas electroluminiscentes de película fina en la empresa finlandesa Instrumentarium Oy. Introdujo la tecnología de epitaxia de capa atómica (ALE), hoy conocida como deposición de capa atómica (ALD), como la solución para la fabricación de los dispositivos EL que requerían películas delgadas con una rigidez dieléctrica muy alta. [2] La tecnología fue introducida en la producción industrial de dispositivos EL a mediados de la década de 1980 por Lohja Corporation en Finlandia. [3] La deposición de capas atómicas se convirtió más tarde en una de las técnicas de fabricación clave en la fabricación de dispositivos semiconductores .

En 1987 Suntola fundó Microchemistry Ltd como una subsidiaria de la compañía petrolera nacional Neste Oy para aplicar la tecnología ALD a nuevas áreas de aplicación como dispositivos fotovoltaicos de película delgada, catalizadores heterogéneos y, lo más importante, dispositivos semiconductores. En 1998, Microchemistry Ltd. y la tecnología ALD se vendieron a Dutch ASM International , un importante proveedor de equipos de fabricación de semiconductores; Microchemistry Ltd. se convirtió en ASM Microchemistry Oy como la filial finlandesa de ASM. En 1997, antes de la adquisición de Microchemistry Ltd, Suntola comenzó como Research Fellow en la compañía nacional de energía Fortum Corporation, creada a través de la fusión de NesteCorporation y la Compañía Nacional de Electricidad. La actividad de Suntola en Fortum se centró en energías renovables y tecnologías energéticas avanzadas. Se retiró de Fortum en 2004, pero continúa como miembro de la junta en Picosun Oy, un fabricante finlandés de reactores ALD.

El Dr. Suntola tiene muchas patentes importantes sobre tecnología ALD y dispositivos de película delgada. A lo largo de su carrera industrial, el Dr. Suntola ha mantenido un estrecho contacto con la sociedad académica. En la década de 1970, dio conferencias sobre Física de Semiconductores en la Universidad Tecnológica de Tampere . Desde su época de estudiante se ha interesado por la filosofía de la ciencia y los fundamentos de la física. Después de un avance fundamental en 1995, ha estado trabajando por una visión holística de la realidad física conocida como Universo Dinámico . En su libro, The Short History of Science , Suntola traza el desarrollo de la imagen científica de la realidad desde la antigüedad hasta la actualidad.

El Dr. Suntola es uno de los fundadores de la Physics Foundations Society dedicada a la búsqueda de una comprensión más profunda de la realidad física. Desde 2015 también se ha desempeñado como presidente de la Sociedad Finlandesa de Filosofía Natural .

Premios

En 2004, Suntola recibió el premio europeo SEMI "Honrando al pionero en técnicas de deposición de capas atómicas ... que allanó el camino para el desarrollo de dispositivos semiconductores a nanoescala" . [3]

En 2018, Suntola ganó el Premio de Tecnología del Milenio de Finlandia por su contribución al desarrollo de la tecnología de la información sobre la base de que "las películas conductoras o aislantes extremadamente delgadas necesarias en microprocesadores y dispositivos de memoria de computadora solo pueden fabricarse utilizando la tecnología ALD desarrollada por Tuomo Suntola. " [4] El jugador de 74 años recibió un millón de euros (1,18 millones de dólares). Su tecnología se utiliza para fabricar capas de material ultradelgadas para una variedad de dispositivos como computadoras, teléfonos inteligentes , microprocesadores y dispositivos de memoria digital , lo que permite un alto rendimiento en tamaño pequeño. [5]

Publicaciones destacadas

  • T. Suntola, "Sobre el mecanismo de los efectos de conmutación en películas delgadas de calcogenuro", Solid-State Electronics 1971, vol. 14, págs. 933–938
  • 1972-11-12 / 1979-08-21, US 4,164,868 Suntola, Transductor capacitivo de humedad
  • 1974-11-29 / 1977-11-15, US 4.058.430 Suntola, Antson, Método para producir películas delgadas compuestas
  • 1979-02-28 / 1983-11-01, US 4.413.022 Suntola, Pakkala, Lindfors, Método para realizar el crecimiento de películas delgadas compuestas
  • 1980-08-20 / 1983-06-14, US 4,388,554 Suntola, Antson, componente de pantalla electroluminiscente
  • T. Suntola, "Epitaxia de la capa atómica", Tech. Compendio de ICVGE-5, San Diego, 1981
  • T. Suntola, J. Hyvärinen, "Epitaxia de la capa atómica", Annu. Rev. Mater. Sci. 15 (1985) 177
  • 1985-03-05 / 1990-03-13, US 4,907,862 Suntola, Método para generar elementos de color controlables electrónicamente y visualización de color basado en el método
  • T. Suntola, "Atomic Layer Epitaxy", Materials Science Reports, volumen 4, número 7, diciembre de 1989, 0920-2307 / 89, Elsevier Science Publishers BV
  • 1990-01-16 / 2003-03-18, US 6.534.431 Suntola et al., Proceso y aparato para preparar catalizadores heterogéneos
  • 1991-07-16 / 2002-12-31, US 6.500.780 Suntola et al., Método para preparar catalizadores heterogéneos del contenido metálico deseado
  • T.Suntola, "Células solares de película fina de CdTe", MRS Bulletin, vol. XVIII, No. 10, 1993
  • T. Suntola, "Epitaxia de la capa atómica", Manual de crecimiento cristalino 3, Películas delgadas y epitaxia, Parte B: Mecanismos y dinámica de crecimiento, Capítulo 14, Elsevier Science Publishers BV, 1994.
  • S. Haukka, E.-L. Lakomaa, T. Suntola, "Preparación controlada por adsorción de catalizadores heterogéneos", Adsorción y sus aplicaciones en la industria y la protección ambiental, A. Dabrowski, ed, Elsevier Science Publishers BV, 1998.
  • Tuomo Suntola, La breve historia de la ciencia, o el largo camino hacia la unión de la metafísica y el empirismo , septiembre de 2018 ISBN  978-952-68101-0-2
  • RL Puurunen, H. Kattelus, T. Suntola, "Deposición de capas atómicas en tecnología MEMS", Cap. 26 del Manual de materiales y tecnologías MEMS basados ​​en silicio, Ed. V. Lindroos y col. , págs. 433–446, Elsevier, 2010.
  • Tuomo Suntola, The Dynamic Universe - Toward a unified picture of física reality, Cuarta edición , septiembre de 2018, ISBN 978-1461027034 . 

Referencias

  1. ^ "El pionero de ALD, Tuomo Suntola, explica cómo su invención sostiene la ley de Moore" . 2019-03-28 . Consultado el 25 de mayo de 2020 .
  2. ^ Ahvenniemi, Esko; Akbashev, Andrew R .; Ali, Saima; Bechelany, Mikhael; Berdova, Maria; Boyadjiev, Stefan; Cameron, David C .; Chen, Rong; Chubarov, Mikhail (16 de diciembre de 2016). "Artículo de revisión: lista de lectura recomendada de las primeras publicaciones sobre la deposición de la capa atómica: resultado del" Proyecto virtual sobre la historia de ALD " " . Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacío, superficies y películas . 35 (1): 010801. doi : 10.1116 / 1.4971389 . ISSN 0734-2101 . 
  3. ↑ a b Puurunen, RL (2014). "Una breve historia de la deposición de la capa atómica: epitaxia de la capa atómica de Tuomo Suntola" . Deposición de vapor químico . 20 (10-11-12): 332-344. doi : 10.1002 / cvde.201402012 .
  4. ^ "Premio de tecnología del milenio 2018 para Tuomo Suntola: la innovación del físico finlandés permite la fabricación y el desarrollo de productos de tecnología de la información" (Comunicado de prensa). Academia de Tecnología de Finlandia. 2018-05-22 . Consultado el 22 de mayo de 2018 .
  5. ^ "Tech 'Nobel' otorgado al físico finlandés por pequeños dispositivos inteligentes" Phys.org, 22 de mayo de 2018

Enlaces externos

  • Una breve historia de la deposición de la capa atómica: la epitaxia de la capa atómica de Tuomo Suntola Una breve historia de la deposición de la capa atómica: la epitaxia de la capa atómica de Tuomo Suntola
  • Tuomo Suntola »Sociedad de Fundamentos de Física