Un actuador térmico MEMS es un dispositivo microelectromecánico que generalmente genera movimiento por amplificación de expansión térmica . Una pequeña cantidad de expansión térmica de una parte del dispositivo se traduce en una gran cantidad de deflexión del dispositivo en general. Usualmente fabricado de silicio monocristalino o polisilicio dopado como un miembro complejo compatible , el aumento de temperatura se puede lograr internamente mediante calentamiento resistivo eléctrico o algo mediante una fuente de calor capaz de introducir calor localmente. Los actuadores térmicos microfabricados se pueden integrar en micromotores. [1] [2]
Tipos de actuadores térmicos
Otros tipos de actuadores MEMS
- Electrostático : placa paralela o unidad de peine
- Magnético
- Piezoeléctrico
- Termostático: movimiento lineal, accionamiento de cera de parafina
Referencias
- ^ Park, JS; Chu, LL; Oliver, AD; Gianchandani, YB (2001). "Actuadores electrotérmicos de haz curvado-Parte II: Micromotores lineales y rotativos". Revista de sistemas microelectromecánicos . 10 (2): 255–262. doi : 10.1109 / 84.925774 .
- ^ Maloney, JM; Schreiber, DS; DeVoe, DL (2004). "Micromotores lineales electrotérmicos de gran fuerza" (PDF) . J. Micromech. Microeng . 14 (2): 226. Código Bibliográfico : 2004JMiMi..14..226M . doi : 10.1088 / 0960-1317 / 14/2/009 .
- ^ Guckel, H .; Klein, J .; Christenson, T .; Skrobis, K .; Laudon, M .; Lovell, EG (1992). "Actuadores termo-magnéticos de flexión metálicaActuadores termo-magnéticos de flexión metálica". Taller de Actuadores y Sensores de Estado Sólido, 1992. 5º Compendio Técnico . págs. 73–75. doi : 10.1109 / SOLSEN.1992.228273 . ISBN 978-0-7803-0456-7. S2CID 136640863 .
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