El clorotrifluorosilano es un compuesto gaseoso inorgánico de fórmula SiClF 3 compuesto por silicio , flúor y cloro . Es un silano que sustituye el hidrógeno por átomos de flúor y cloro .
Al calentar una mezcla de cloruro de aluminio anhidro y hexafluorosilicato de sodio entre 190 y 250 °C se desprende una mezcla de gases que contienen clorotrifluorosilano. Estos se condensan a -196 °C grados y se destilan fraccionadamente a temperaturas de hasta -78 °C. [2]
El SiClF 3 se puede fabricar haciendo reaccionar tetracloruro de silicio y gases de tetrafluoruro de silicio a 600 °C, produciendo una mezcla de fluoroclorosilanos que incluye aproximadamente una cuarta parte de SiClF 3 . [3]
El SiClF 3 se puede fabricar haciendo reaccionar tetracloruro de silicio con trifluoruro de antimonio . Un catalizador de pentacloruro de antimonio ayuda. Los productos se destilan para separarlos del tetrafluorosilano y el diclorodifluorosilano . [4] [5] [6]
A altas temperaturas por encima de los 500 °C , el tetrafluoruro de silicio puede reaccionar con el tricloruro de fósforo para producir algo de SiClF 3 . Esto es inusual porque SiF 4 es muy estable. [7]
El tetracloruro de silicio puede reaccionar con trifluoro(triclorometil)silano para producir SiClF 3 y CCl 3 SiCl 3 . [8]