Investigación Lam


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Lam Research Corporation es un proveedor global de equipos de fabricación de obleas y servicios relacionados para la industria de semiconductores . [3] Sus productos se utilizan principalmente en el procesamiento de obleas de front-end, que implica los pasos que crean los componentes activos de los dispositivos semiconductores (transistores, condensadores) y su cableado (interconexiones). La empresa también fabrica equipos para el envasado a nivel de obleas (WLP) y para los mercados de fabricación relacionados, como los sistemas microelectromecánicos (MEMS).

Lam Research fue fundada en 1980 por el Dr. David K. Lam y tiene su sede en Fremont, California , en Silicon Valley . [4] A partir de 2018, era el segundo fabricante más grande en el Área de la Bahía, después de Tesla . [5]

Historia

Lam Research fue fundada en 1980 por David K. Lam, un ingeniero nacido en China que había trabajado anteriormente en Xerox , Hewlett-Packard y Texas Instruments . [6] Fue mientras estaba en Hewlett Packard cuando vio la necesidad de un mejor equipo de grabado con plasma, para mantenerse al día con la rápida miniaturización de las obleas semiconductoras. [6] Le dio crédito a Bob Noyce , fundador de Intel , por ayudarlo a obtener fondos al asegurar que su plan de negocios tuviera sentido.

En 1981, la empresa presentó su primer producto, el AutoEtch 480, un grabador de plasma de polisilicio automatizado. Se eligió el nombre AutoEtch para transmitir que el grabador estaba automatizado, mientras que el 80 en 480 provino de 1980, año en que se fundó la empresa. [7] El primer sistema se vendió en enero de 1982. [8] En 1982, Roger Emerick fue nombrado director general. [9]

En mayo de 1984, la compañía emitió una oferta pública inicial y fue incluida en NASDAQ, con el símbolo LRCX. [ cita requerida ] En 1985, David Lam dejó la empresa para unirse a Link Technologies, que finalmente fue comprada por Wyse [10] y ahora es Dell Wyse . [11] A mediados de la década de 1980, Lam Research continuó su expansión global, concentrándose en Taiwán y también abriendo centros de atención al cliente en Europa, Estados Unidos y Japón. [11]

A principios de la década de 1990, la empresa tenía presencia en China, Corea, Singapur y Taiwán. [11] En marzo de 1997, la empresa compró OnTrak Systems Inc., un fabricante de equipos de chips que se especializaba en limpieza de planarización químico-mecánica (CMP), por $ 225 millones. [12] La limpieza CMP es un proceso híbrido para alisar superficies mediante grabado y pulido mecánico. En agosto de 1997, la compañía nombró al CEO de OnTrak, Jim Bagley, como su CEO. [11] [13] En 1998, Bagley fue nombrado presidente de la junta. [13]

En 2005, Steve Newberry fue nombrado director ejecutivo. [14] En 2006, Lam Research adquirió Bullen Semiconductor, ahora Silfex, Inc. [15] En 2008, Lam Research adquirió SEZ AG, [16] ahora Lam Research AG. [17] En 2011, Lam Research acordó comprar Novellus Systems , fabricante de equipos de chips de San José, California , por 3.300 millones de dólares. [18] El acuerdo se completó en junio de 2012. [19] En 2012, Martin Anstice fue nombrado director ejecutivo. [14] En octubre de 2015, Lam Research anunció planes para comprar KLA-Tencor, proveedor de equipos de inspección de obleas con sede en Milpitas, California .por $ 10.6B, en lo que se consideró como un movimiento de consolidación de la industria de semiconductores. [20] En junio de 2016, se anunció que Lam Research se había unido a Fortune 500 por primera vez. [21] En octubre de 2016, la compañía anunció que había terminado su oferta por KLA-Tencor en medio de preocupaciones de que el acuerdo no cumpliera con la aprobación regulatoria del Departamento de Justicia de EE. UU. [22] por preocupaciones antimonopolio. [23]

En septiembre de 2017, la compañía anunció la adquisición de Coventor, firma de simulación de chips con sede en Cary, Carolina del Norte . Según se informa, el software de la compañía permitiría a Lam reducir el tiempo de comercialización de sus nuevos chips. [24] En noviembre, la empresa lanzó Lam Research Capital (Lam Capital), un grupo de capital riesgo autorizado para invertir en empresas. [25]

En enero de 2018, la compañía anunció que el director de operaciones Tim Archer estaba siendo ascendido a presidente y que el director ejecutivo Martin Anstice seguía en el puesto de director ejecutivo. [26]

En diciembre de 2018, Martin Anstice renunció como CEO debido a acusaciones de mala conducta personal y la Junta Directiva de Lam Research nombró a Tim Archer como presidente y director ejecutivo. [27] Archer también fue nombrado miembro de la Junta Directiva de Lam Research. Antes de este nombramiento, Archer era presidente y director de operaciones de la empresa. [28]

En agosto de 2021, Lam abrió una planta de fabricación en Batu Kawan , Malasia , para satisfacer la creciente demanda de equipos de fabricación de obleas y trabajar más estrechamente con clientes clave y socios de la cadena de suministro . [29]

Productos

Lam Research diseña y fabrica productos para la fabricación de semiconductores, incluidos equipos para la deposición de películas delgadas , el grabado con plasma , las tiras fotorresistentes y los procesos de limpieza de obleas . Repetidas a lo largo de la fabricación de semiconductores, estas tecnologías ayudan a crear transistores, interconexiones, memoria avanzada y estructuras de empaque. También se utilizan para aplicaciones en mercados relacionados como sistemas microelectromecánicos (MEMS) y diodos emisores de luz (LED). [1]

Deposición de película fina

Los sistemas de deposición de película delgada de Lam colocan las capas submicroscópicas de materiales conductores (metal) o aislantes (dieléctricos) que forman un circuito integrado. Los procesos requieren uniformidad a nivel de nanoescala . [30]

La empresa emplea tecnologías de deposición electroquímica (ECD) y deposición química de vapor (CVD) para formar películas de cobre y otros metales para estructuras conductoras. [31] [32] La deposición de capa atómica (ALD) también se usa para películas de metal de tungsteno en características como contactos y enchufes, que son conexiones verticales entre líneas de metal en diseños de chips de interconexión multinivel.

Las tecnologías CVD y ALD mejoradas con plasma (PE) crean películas dieléctricas para una amplia gama de piezas aislantes. Para los procesos de relleno de huecos, que requieren depositar material dieléctrico en espacios estrechos, Lam utiliza tecnología CVD de plasma de alta densidad (HDP). PECVD y ALD también se utilizan para formar máscaras duras , capas que se pueden eliminar para mejorar los procesos de creación de patrones de circuitos.

Grabado con plasma

Lam Research utiliza tecnología patentada en su equipo para grabado con plasma, [33] el proceso de eliminar selectivamente materiales de la superficie de una oblea para crear las características y patrones del dispositivo semiconductor. El equipo ayuda a los fabricantes de chips a crear pequeñas características, como las necesarias para las últimas secuencias de patrones múltiples, transistores y estructuras de memoria avanzadas, que involucran pilas de películas cada vez más complejas y estructuras de relación de aspecto cada vez más altas .

La compañía utiliza grabado de iones reactivos (RIE) y grabado de capa atómica (ALE) para dar forma a una variedad de características conductoras y dieléctricas. [33] Las tecnologías RIE profundas de la empresa ayudan a crear estructuras para aplicaciones como MEMS y vías de silicio (TSV).

Tira fotorresistente

Los sistemas de tiras secas de Lam utilizan tecnología de plasma para eliminar selectivamente la máscara fotorresistente siguiendo una gama de procesamiento de obleas y aplicaciones avanzadas de envasado. [34]

Limpieza de obleas

Los productos de limpieza en bisel a base de plasma y centrifugado en húmedo de Lam Research eliminan partículas, residuos y películas de la superficie de la oblea antes o después de procesos adyacentes. [35]

La tecnología de limpieza por centrifugación de la empresa se utiliza entre los pasos del procesamiento de virutas para eliminar los residuos y defectos que limitan el rendimiento. La tecnología de limpieza de bisel de Lam dirige un plasma al borde mismo de la oblea para limpiar partículas, residuos y películas no deseadas. Si no se eliminan, estos materiales pueden afectar el rendimiento si se desprenden y se vuelven a depositar en el área del dispositivo durante los pasos de fabricación posteriores.

Lam Capital

El grupo de inversión Lam Capital de la compañía invierte en negocios relacionados con semiconductores, incluidos aquellos en los campos de las ciencias de la vida y la automatización industrial. [25]

Clientes

La empresa comercializa sus productos y servicios principalmente a empresas involucradas en la producción de semiconductores en Estados Unidos, Europa y Asia. [36]

Los clientes importantes de Lam incluyen Intel ; Kioxia ; Tecnología Micron ; Samsung Electronics ; SK Hynix ; TSMC ; y tecnologías de la memoria Yangtze . [37]

Instalaciones

Lam tiene instalaciones de fabricación en Estados Unidos, Austria y Corea, y oficinas de ventas y servicios en Estados Unidos, Europa y Asia. [38]

Referencias

  1. ^ a b c d e f g h i j k "Informe anual de Lam Research 2019" . lamresearch.com. 20 de agosto de 2019 . Consultado el 30 de agosto de 2019 .
  2. ^ Formulario 10-K 2020/21
  3. ^ "LAM RESEARCH CORP (LRCX: NASDAQ GS): Descripción de la empresa" . Bloomberg LP . Consultado el 19 de mayo de 2016 .
  4. ^ "Investigación de Lam en la lista de empresas públicas más grande de Estados Unidos de Forbes" . Forbes . Consultado el 10 de mayo de 2018 .
  5. ^ [1]
  6. ^ a b "Historia oral: David K. Lam" . SEMI.ORG . 2011 . Consultado el 9 de agosto de 2011 .
  7. ^ "Entrevista de historia oral de la SEMI" . stanford.edu. 24 de julio de 2007. Archivado desde el original el 11 de noviembre de 2013 . Consultado el 12 de mayo de 2016 .
  8. ^ "Corporación de investigación de Lam - 10-K" . lamresearch.com. 18 de septiembre de 1996 . Consultado el 12 de mayo de 2016 .
  9. ^ "Perfil ejecutivo - Roger D. Emerick" . Bloomberg LP . Consultado el 2 de junio de 2016 .
  10. ^ "Las PC desencadenan una nueva respuesta" . Computerworld . 11 de enero de 1988 . Consultado el 12 de mayo de 2016 .
  11. ^ a b c d "Historia de Lam Research Corporation" . foundationuniverse.com . Consultado el 12 de mayo de 2016 .
  12. ^ "Lam Research acuerda adquirir OnTrak" . Los Angeles Times . 25 de marzo de 1997 . Consultado el 12 de mayo de 2016 .
  13. ^ a b "lam research corp (LRCX: NASDAQ GS)" . Bloomberg LP . Consultado el 12 de mayo de 2016 .
  14. ^ a b "Newberry de Lam para renunciar al cargo de CEO" . eetimes.com. 8 de septiembre de 2011 . Consultado el 3 de junio de 2016 .
  15. ^ "Descripción de la empresa de Silfex, Inc" . Bloomberg LP . Consultado el 3 de junio de 2016 .
  16. ^ "Lam compra SEZ por $ 568 millones" . eetimes.com. 11 de diciembre de 2007 . Consultado el 3 de junio de 2016 .
  17. ^ "LAM Research AG" . ecsel-austria.net . Consultado el 3 de junio de 2016 .
  18. ^ "Lam Research acuerda comprar sistemas Novellus por $ 3.3 mil millones" . Bloomberg LP 15 de diciembre de 2011 . Consultado el 12 de mayo de 2016 .
  19. ^ "Lam Research (LRCX) completa la adquisición de Novellus Systems (NVLS)" . streetinsider.com . 4 de junio de 2012 . Consultado el 12 de mayo de 2016 .
  20. ^ "Lam compra KLA-Tencor como montaje de acuerdos del sector de chips" . El Wall Street Journal . 21 de octubre de 2015 . Consultado el 13 de mayo de 2016 .
  21. ^ "Aquí están las 15 nuevas empresas que se unen a Fortune 500" . Fortuna . 6 de junio de 2016 . Consultado el 7 de junio de 2016 .
  22. ^ "El fabricante de equipos de chips Lam Research cancela el acuerdo de KLA-Tencor" . Reuters . 5 de octubre de 2016 . Consultado el 6 de octubre de 2016 .
  23. ^ Mattioli, Dana; Benoit, David (19 de enero de 2017). "Activista inversor presiona Rudolph Technologies, nanometrics para fusionar" . El Wall Street Journal . Nueva York . Consultado el 23 de enero de 2017 .
  24. ^ "Lam compra firma Coventor de software de simulación" . eetimes.com . 1 de septiembre de 2017 . Consultado el 8 de junio de 2018 .
  25. ^ a b "Repaso de la semana: fabricación" . semiengineering.com . 17 de noviembre de 2017 . Consultado el 8 de junio de 2018 .
  26. ^ "La investigación de BRIEF-Lam promueve a Tim Archer al presidente" . Reuters . 24 de enero de 2018 . Consultado el 8 de junio de 2018 .
  27. ^ "Lam Research Corporation anuncia que Martin Anstice dimite como director ejecutivo; Tim Archer nombrado presidente y director ejecutivo | Lam Research Corporation" .
  28. ^ "Dimite el CEO de Lam Research, Martin Anstice" . Business Insider . 12 de mayo de 2018 . Consultado el 6 de diciembre de 2018 .
  29. ^ PRNewswire, redactor (4 de agosto de 2021). "Lam Research fortalece la red de fabricación global al abrir su planta de fabricación más grande en Malasia". Yahoo Finanzas . PRNewswire.
  30. ^ "La semana en revisión: fabricación" . semiengineering.com . 11 de abril de 2014 . Consultado el 19 de mayo de 2016 .
  31. ^ "Pedido de herramientas: Novellus envía el sistema SABRE ECD número 300" . fabtech.com. 23 de septiembre de 2008 . Consultado el 13 de mayo de 2016 .
  32. ^ "Tratar con átomos" . semiengineering.com . 13 de julio de 2015 . Consultado el 19 de mayo de 2016 .
  33. ^ a b "Atomic Layer Etch ahora en Fab Evaluations" . semimd.com . 4 de agosto de 2014. Archivado desde el original el 15 de julio de 2017 . Consultado el 3 de junio de 2016 .
  34. ^ "Método de tira fotorresistente para dieléctricos de baja k US 8058178 B1" . 15 de noviembre de 2011 . Consultado el 3 de junio de 2016 .
  35. ^ "Etch + clean: alcance de ampliación de Lam Research con la compra de SEZ" . electroiq.com. 11 de diciembre de 2007 . Consultado el 3 de junio de 2016 .
  36. ^ "Corporación de investigación de Lam (LRCX)" . Yahoo! . Consultado el 19 de mayo de 2016 .
  37. ^ "FORMULARIO 10-K DE LA CORPORACIÓN DE INVESTIGACIÓN LAM" (PDF) . Consultado el 29 de agosto de 2021 .
  38. ^ "Ubicaciones de Lam Research Corporation" . lamresearch.com . Consultado el 3 de junio de 2016 .

enlaces externos

  • Datos comerciales de Lam Research:
    • Finanzas de Google
    • Yahoo! Finanzas
    • Presentaciones ante la SEC
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