Los transductores ultrasónicos piezoeléctricos micromecanizados ( PMUT ) son transductores ultrasónicos piezoeléctricos basados en MEMS . Transductores piezoeléctricos a granel diferencia de que utilizan el movimiento de modo de espesor de una placa de piezoeléctrico cerámico tal como PZT o un solo cristal de PMN-PT , PMUT se basan en el movimiento de flexión de una membrana delgada junto con una película piezoeléctrica delgada, tal como PVDF . [1] [2] [3] [4] [5] En comparación con los transductores de ultrasonido piezoeléctricos a granel, PMUT puede ofrecer ventajas como un mayor ancho de banda , geometrías flexibles, adaptación de impedancia acústica natural con el agua, requisitos de voltaje reducidos, mezcla de diferentes frecuencias de resonancia y potencial de integración con circuitos electrónicos de soporte, especialmente para aplicaciones miniaturizadas de alta frecuencia.
Referencias
- ^ Trolier-McKinstry, Susan ; P. Muralt (enero de 2004). "Piezoeléctrico de película fina para MEMS". Revista de Electrocerámica . 12 (1–2): 7. doi : 10.1023 / B: JECR.0000033998.72845.51 .
- ^ Hajati, Arman; et al. (2012). "Transductor de ultrasonido piezoeléctrico de sistema micro electromecánico tridimensional" . Letras de Física Aplicada . 101 (25): 253101. doi : 10.1063 / 1.4772469 .
- ^ Muralt, Paul (diciembre de 2005). "Transductores ultrasónicos piezoeléctricos micromecanizados basados en películas delgadas PZT". IEEE Trans Ultrasonics, Ferroeléctricos . 52 (12): 2276. doi : 10.1109 / TUFFC.2005.1563270 .
- ^ Qiu, Yongqiang; et al. (2015). "Matrices de transductores de ultrasonido micromaquinado piezoeléctricos (PMUT) para detección, actuación e imágenes integradas" . Sensores . 15 (4): 8020–41. doi : 10.3390 / s150408020 . PMC 4431219 . PMID 25855038 .
- ^ Brown, Lewis (noviembre de 2000). "Consideraciones de diseño para transductor de ultrasonido de polímero piezoeléctrico". IEEE Trans Ultrasonics, Ferroeléctricos . 47 (6): 1377-1396. doi : 10.1109 / 58.883527 . PMID 18238684 .